全國政協(xié)委員、九三學(xué)社中央委員張大方說，集成電路裝備集成了材料、器件物理、計(jì)算機(jī)、自動(dòng)控制、光學(xué)、化學(xué)、精密機(jī)械、裝備制造等科技領(lǐng)域的最新成就，是基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究共同發(fā)展的產(chǎn)物，許多技術(shù)已經(jīng)在挑戰(zhàn)機(jī)械、光學(xué)加工等方面的物理極限。集成電路裝備制造業(yè)作為增強(qiáng)國家綜合實(shí)力和國際競(jìng)爭(zhēng)力的先導(dǎo)性和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，不僅支撐著集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，同時(shí)也支撐著整個(gè)國家電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，一直是發(fā)達(dá)國家爭(zhēng)奪高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略制高點(diǎn)。發(fā)達(dá)國家始終沒有放棄在此領(lǐng)域?qū)ξ覈募夹g(shù)封鎖，歷史上曾通過巴黎統(tǒng)籌委員會(huì)等組織對(duì)中國實(shí)行嚴(yán)厲的禁運(yùn)控制。振興集成電路裝備制造業(yè)，盡快擴(kuò)大自主裝備市場(chǎng)占有率，不僅是中國集成電路可持續(xù)發(fā)展的需要，也是打破國外技術(shù)封鎖，確保國家經(jīng)濟(jì)安全的戰(zhàn)略需要。我國集成電路產(chǎn)業(yè)在過去的近4年投入高達(dá)100億美元，超過過去50年投資總和的3倍。2006年設(shè)備的需求同比增長了78%。從投資角度看，一條集成電路生產(chǎn)線需要近200種設(shè)備，僅前道工序的關(guān)鍵設(shè)備就有20多種，其中最為關(guān)鍵的核心設(shè)備有7種。我國集成電路裝備產(chǎn)業(yè)始于20世紀(jì)50年代后期，發(fā)展一直相對(duì)滯后，主要依賴進(jìn)口，目前自產(chǎn)裝備占國內(nèi)市場(chǎng)份額不到2%，未形成可以支撐自身可持續(xù)發(fā)展的產(chǎn)業(yè)規(guī)模，仍處于產(chǎn)業(yè)規(guī)模小，核心技術(shù)受制于人的被動(dòng)局面。
張大方指出，目前我國的集成電路裝備制造業(yè)發(fā)展正逐步顯現(xiàn)出較大的發(fā)展空間和潛力，但與之戰(zhàn)略地位相匹配的產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境和具體措施仍需進(jìn)一步改善。突出表現(xiàn)在兩個(gè)方面。一是政策不到位。《鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策》（國發(fā)〔2000〕18號(hào)）未將集成電路生產(chǎn)所需的各類設(shè)備和其它材料納入政策優(yōu)惠范圍。文件中關(guān)于“集成電路生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)口自用生產(chǎn)性原材料、消耗品、免征關(guān)稅和進(jìn)口環(huán)節(jié)增值稅，企業(yè)引進(jìn)集成電路技術(shù)和成套生產(chǎn)設(shè)備與儀器，免征進(jìn)口關(guān)稅和進(jìn)口環(huán)節(jié)增值稅”的規(guī)定，在降低境外公司來華投資設(shè)廠成本的同時(shí)也相對(duì)提高了國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備和材料生產(chǎn)企業(yè)的成本。由于國產(chǎn)設(shè)備國內(nèi)銷售，在將產(chǎn)品銷售時(shí)均需交納17%的增值稅，從而使國產(chǎn)集成電路設(shè)備和材料的價(jià)格優(yōu)勢(shì)大大縮小，造成不公平競(jìng)爭(zhēng)。二是對(duì)重大裝備重復(fù)引進(jìn)缺乏相關(guān)政策約束，造成巨大浪費(fèi)。由于沒有如韓國《首套截止法》類似的相關(guān)法規(guī)(韓國在上世紀(jì)70年代就頒布的即同類大型成套設(shè)備只準(zhǔn)進(jìn)口一套，其他需求必須以自主消化吸收哪怕是仿制來解決)，國有企業(yè)大都把引進(jìn)作為技術(shù)改造和擴(kuò)建的首選，而且出于自身利益的考慮，常常將高價(jià)引進(jìn)的裝備作為競(jìng)爭(zhēng)力的一個(gè)手段，對(duì)外保密，導(dǎo)致裝備制造商缺乏消化國外裝備的機(jī)會(huì)和新設(shè)備的市場(chǎng)支撐。
張大方為此提出三點(diǎn)建議。第一，將經(jīng)過認(rèn)定的集成電路專用設(shè)備制造企業(yè)列入國家優(yōu)惠政策范圍。第二，對(duì)訂購和使用國產(chǎn)首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備的企業(yè)采取補(bǔ)貼政策，鼓勵(lì)采購國產(chǎn)設(shè)備。對(duì)國產(chǎn)設(shè)備能夠替代進(jìn)口的設(shè)備，應(yīng)禁止進(jìn)口。第三，調(diào)整進(jìn)口稅收優(yōu)惠政策。對(duì)列入國家發(fā)展重點(diǎn)的集成電路技術(shù)裝備和產(chǎn)品，制定專項(xiàng)進(jìn)口稅收政策，對(duì)國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)為開發(fā)、制造這些裝備而進(jìn)口的部分關(guān)鍵配套部件和原材料，免征進(jìn)口關(guān)稅或?qū)嵭邢日骱蠓?，進(jìn)口環(huán)節(jié)增值稅實(shí)行先征后返。同時(shí)，取消相應(yīng)整機(jī)和成套設(shè)備的進(jìn)口免稅政策。對(duì)國產(chǎn)裝備不能完全滿足需求，仍需進(jìn)口的，作為過渡措施，并逐步降低優(yōu)惠幅度、縮小免稅范圍的方式。
